[17p-M_101-1~18] 17.2 グラフェン

14:45 〜 15:00

[17p-M_101-3] 絶縁体上へのグラフェンのスパッタ成膜手法における成膜温度の影響

〇菊名 吏穏^1,2、中野 武雄¹、村上 勝久²、長尾 昌善²、村田 博雅² (1.成蹊大、2.産総研)

キーワード：

グラフェン、スパッタリング