講演情報
[17p-M_103-2]CF3CHFCHF2分子の電子物性と解離
〇林 俊雄1、石川 健治1、関根 誠1、堀 勝1 (1.名古屋大学)
キーワード：
CF3CHFCHF2、エッチングガス、一次解離過程
CF3CHFCHF2の基底状態の電子構造はC1の対称性を持つ不安定な化合物で、イオン化状態では多種のイオン種が生成される傾向を持つ。励起状態ではC-F部でFが解離しやすい化合物で有ることが分かった。電子付着では3S及び3P Rydberg stateへの垂直電子付着でCF3－ + CHFCFH2、CF3 + CHFCFH2－の解離が起り、F－の解離が起るのは3sp + 2sp軌道で構成される負イオンの励起状態への遷移で起るものと考えられる。