[17p-M_103-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

14:30 〜 14:45奨励賞エントリー

[17p-M_103-3] 機械学習ポテンシャルを用いたエッチングシミュレーション

〇池田 京¹ (1.三菱ケミカル株式会社)

キーワード：

機械学習ポテンシャル、分子動力学シミュレーション、エッチング

本研究では、機械学習の推論に基づいてエネルギーなどの物性値を出力する機械学習ポテンシャル(MLP: Machine Learning Potential)に着目し、反応動力学シミュレーションを実行するための力場を作成した。