講演情報
[17p-M_103-7]多様性指標を用いたプラズマプロセスの定量評価
〇白谷 正治1、スクマ フィットリアーニ1、鎌滝 晋礼1 (1.九大シス情)
キーワード：
ヒル数、プラズマプロセス、多様性
半導体製造におけるプラズマプロセスの最適化 では、反応種の多様性がプロセス特性に大きく影 響します。しかし、従来は多様性を定量化する指 標が乏しく、プロセス間比較や探索指針の構築が 困難でした。本研究では、生態学で広く用いられ る Hill 数を応用し、プラズマ中のラジカル種や発 光種の多様性を定量評価する手法を提案します。