[17p-M_103-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

16:15 〜 16:30

[17p-M_103-9] GIPP-CVD法を用いて作製したSi-DLC膜のTMS流入量の違いによるSi含有量変化

〇牧田 成悟¹、針谷 達¹、永井 健登¹、上坂 裕之¹ (1.岐阜大学)

キーワード：

プラズマ