講演情報
[17p-M_B07-4]TEM観察による先端半導体デバイスおよび材料の原子スケール解析
〇五十嵐 信行1 (1.名大未来研)
キーワード：
半導体、界面構造、原子層材料
透過電子顕微鏡(TEM)の空間分解能の指標として、近年の製品では、情報限界100pm以上という値を見ることができる。本講演では、この高い空間分解能が可能とする、半導体デバイス・材料のTEM解析例を紹介するとともに、分解能を決める因子や、実験での注意点について述べる。また、TEM-EDSとTEM-EELSについても、デバイス材料分析における空間分解能の観点から、いくつかの応用例を紹介する。