[17p-M_B07-1~10] 半導体評価技術の最前線

15:05 〜 15:30

[17p-M_B07-5] 半導体プロセス・デバイス動作下のその場TEM観察―固相結晶化への適用例―

〇手面 学¹、浅野 孝典¹、高石 理一郎¹、富田 充裕¹、齋藤 真澄¹、田中 洋毅¹ (1.キオクシア㈱先端研)

キーワード：

その場、電子顕微鏡、電子エネルギー損失分光