講演情報
[17p-M_B07-6]微細デバイスにおける動作時温度計測技術の進展
〇内田 建1 (1.東大工)
キーワード：
ナノデバイスの動作時温度評価、修正パルスIV法、分子温度計
微細MOSFETやナノ構造デバイスでは，動作時の自己発熱が電気特性や信頼性に大きな影響を与える．本発表では，四端子ゲート抵抗法と交流コンダクタンス法を組み合わせ，動作中のチャネル温度を直接計測する手法を整理するとともに，修正パルスIV法により温度上昇が無視できる電気特性評価法を開発したことを報告する．さらに，分子温度計を用いたナノスケール温度分布計測を紹介し，微細デバイスにおける動作時温度計測技術の進展を概観する．