講演情報
[17p-M_B07-8]4D-XPS データ解析の高度化と深層学習・統計的統合解析による深さ方向分布の精密復元
〇豊田 智史1、安藤 昌輝2、小椋 厚志2,3、木下 豊彦1、町田 雅武1 (1.バキュームプロダクツ、2.明治大学、3.MREL)
キーワード：
埋もれた界面解析、角度分解XPS、4D-XPS
次世代半導体多層薄膜における埋もれた界面可視化を目的に、AR-XPSへ時空間情報を付与した4D-XPS解析基盤を高度化した。短時間計測で不可避な低S/Nに対し、教師なし深層学習によるデノイズと統計的手法を融合した統合解析を導入し、大規模データから深さ方向の元素分布を高精度に復元できることを示した。