講演情報
[17p-M_B07-9]量⼦ビームホログラフィを⽤いたドーパント原⼦配列解析
〇松下 智裕1 (1.奈良先端大)
キーワード：
半導体、ダイヤモンド、原子分解能ホログラフィ
量子ビームを用いた原子分解能ホログラフィは、周期的原子配列を必要とせず、特定元素周囲の原子配列を測定できる手法であり、結晶中ドーパントなどの解析に適している。光電子、蛍光X線、中性子ホログラフィなどがあり、特に光電子ホログラフィは内殻準位の価数依存性を利用した原子サイト分離が可能である。ダイヤモンド中のドーパントや絶縁膜界面などの多様な系の局所原子配列の観測を行っている。