セッション詳細

[17p-PB3-1~13]8.1 プラズマ生成・診断

2026年3月17日(火) 16:30 〜 18:00
PB3 (武道場 (B1F))

[17p-PB3-2]歯根管の高周波電流治療における電場分布の解析

〇(M2)常 云鵬1、富岡 智1、山内 有二1、松本 裕1、東 直樹1、菅谷 勉2 (1.北大工、2.北大歯)

[17p-PB3-4]液体導電率と構成に依存した液-気-液系における気液界面放電特性

〇後藤 彩乃1、渡邊 良輔1、吉野 大輔1 (1.農工大)

[17p-PB3-5]多数電極間誘電体バリア放電のチャネル形成観測

〇田口 滉健1、中野 幸登1、青木 茉紘1、酒井 道1 (1.滋賀県大工)

[17p-PB3-6]メタマテリアルを用いたVHF帯高周波プラズマにおける高密度化の局所制御

〇中野 幸登1、田口 滉健1、酒井 道1 (1.滋賀県大工)

[17p-PB3-7]RF磁気ノズル型スラスタにおけるカスプ点近傍の電子エネルギー分布関数評価

〇(M1)香川 寛汰1、伊藤 満基1、中本 聡1、古川 武留1、竹野 裕正1 (1.神戸大学大学院工学研究科電気電子工学専攻)

[17p-PB3-8]同径のプローブによるダブルカーリングプローブ法の評価

〇宇賀 大翔1、小澤 光生1、中村 圭二1、小川 大輔1 (1.中部大工)

[17p-PB3-9]多視点発光画像の三次元再構築によるプラズマ構造の圧力依存性評価

〇吉川 隼人1、泉 涼太1、鈴木 陽香1,2、豊田 浩孝1,2,3 (1.名大工、2.名大低温プラズマ、3.核融合研)

[17p-PB3-10]発光分光法と衝突輻射モデルによるアルゴン誘導結合プラズマの電子エネ ルギー分布関数構築における解析・非パラメータ手法の比較

〇叶 宇晨1、土居 謙太2、清田 哲司2、菊地 航行1、何 文涛1、島谷 和希1、羽生 陽向1、山下 雄也1、根津 篤1、赤塚 洋1 (1.科学大、2.アルバック)

[17p-PB3-11]DLC 成膜用Ar/CH4 プラズマにおける
ガス利用効率に及ぼす滞在時間の影響

〇(M1)植松 優1、上坂 裕之2、小田 昭紀1 (1.千葉工大工、2.岐阜大工)

[17p-PB3-12]プラズマ発光分光分析によるマルチパルススパッタリングにおける生成スパッタ粒子のイオン化率特性の解析

〇横山 英佐1,2、中川 悠幹2、小林 宏輝2、實方 真臣2、戸名 正英3、山本 宏晃3、塚本 恵三3、冨宅 喜代一4、大下 慶次郎5、美齊津 文典6 (1.サレジオ高専、2.東京工芸大工、3.(株)アヤボ、4.神戸大、5.北海道教育大、6.東北大院理)

[17p-PB3-13]高出力パルスマグネトロンスパッタリングで生成する中性Ti粒子のレーザー誘起蛍光を用いた成膜領域における時間発展計測

〇中川 悠幹1、沢 哲斗1、小林 宏輝1、横山 英佐1,2、實方 真臣1、戸名 正英3、山本 宏晃3、塚本 恵三3、冨宅 喜代一4、大下 慶次郎5、美齊津 文典6 (1.東京工芸大工、2.サレジオ高専、3.(株)アヤボ、4.神戸大、5.北海道教育大、6.東北大院理)