セッション詳細
[17p-PB3-1~13]8.1 プラズマ生成・診断
2026年3月17日(火) 16:30 〜 18:00
PB3 (武道場 (B1F))
[17p-PB3-7]RF磁気ノズル型スラスタにおけるカスプ点近傍の電子エネルギー分布関数評価
〇(M1)香川 寛汰1、伊藤 満基1、中本 聡1、古川 武留1、竹野 裕正1 (1.神戸大学大学院工学研究科電気電子工学専攻)
[17p-PB3-9]多視点発光画像の三次元再構築によるプラズマ構造の圧力依存性評価
〇吉川 隼人1、泉 涼太1、鈴木 陽香1,2、豊田 浩孝1,2,3 (1.名大工、2.名大低温プラズマ、3.核融合研)
[17p-PB3-10]発光分光法と衝突輻射モデルによるアルゴン誘導結合プラズマの電子エネ ルギー分布関数構築における解析・非パラメータ手法の比較
〇叶 宇晨1、土居 謙太2、清田 哲司2、菊地 航行1、何 文涛1、島谷 和希1、羽生 陽向1、山下 雄也1、根津 篤1、赤塚 洋1 (1.科学大、2.アルバック)
[17p-PB3-12]プラズマ発光分光分析によるマルチパルススパッタリングにおける生成スパッタ粒子のイオン化率特性の解析
〇横山 英佐1,2、中川 悠幹2、小林 宏輝2、實方 真臣2、戸名 正英3、山本 宏晃3、塚本 恵三3、冨宅 喜代一4、大下 慶次郎5、美齊津 文典6 (1.サレジオ高専、2.東京工芸大工、3.(株)アヤボ、4.神戸大、5.北海道教育大、6.東北大院理)
[17p-PB3-13]高出力パルスマグネトロンスパッタリングで生成する中性Ti粒子のレーザー誘起蛍光を用いた成膜領域における時間発展計測
〇中川 悠幹1、沢 哲斗1、小林 宏輝1、横山 英佐1,2、實方 真臣1、戸名 正英3、山本 宏晃3、塚本 恵三3、冨宅 喜代一4、大下 慶次郎5、美齊津 文典6 (1.東京工芸大工、2.サレジオ高専、3.(株)アヤボ、4.神戸大、5.北海道教育大、6.東北大院理)
