講演情報

[17p-PB3-9]多視点発光画像の三次元再構築によるプラズマ構造の圧力依存性評価

〇吉川 隼人1、泉 涼太1、鈴木 陽香1,2、豊田 浩孝1,2,3 (1.名大工、2.名大低温プラズマ、3.核融合研)

キーワード:

プラズマ、再構築

プラズマプロセスの高度化に伴い、プラズマの空間構造を非接触で把握する診断技術の重要性が高まっている。本研究では、トモグラフィ手法に基づく多視点画像解析により、プラズマ発光の三次元構造を非侵襲的に再構築する手法を用いた評価を行う。容量結合型プラズマを対象として、空間的にほぼ一様な条件下で圧力を変化させ、再構築された発光分布や電極近傍に形成される低発光領域の挙動について検討する。