講演情報
[17p-W2_401-13][第59回講演奨励賞受賞記念講演] 誘導ラマン散乱顕微法によるGaN結晶中貫通転位の高速3Dイメージング
〇高橋 俊1、若本 裕介1、車 一宏2、前田 拓也1、小関 泰之1,2 (1.東大院工、2.先端研)
キーワード：
窒化ガリウム、転位、誘導ラマン散乱
高速イメージングが可能な誘導ラマン散乱(SRS)顕微法をGaN結晶中の貫通転位観察に応用し、転位がもたらす歪みの非破壊・3次元イメージングに成功したので報告する。また、透過側でのSRS信号検出と同時に、反射側で多光子励起フォトルミネッセンス(MPPL)信号を取得し、SRSとMPPLから得られる情報を活用することで、転位の詳細な評価を可能にした。