講演情報
[17p-W2_401-14]位相差顕微鏡によるGaN結晶中のa成分を有する貫通転位の非破壊検出
〇石川 由加里1、服部 亮2、姚 永昭1,3、勝部 大樹1、佐藤 功二1 (1.JFCC、2.セラミックフォーラム、3.三重大)
キーワード：
位相差顕微鏡、GaN、転位
GaN(001)結晶中のBurgersベクトルとしてa成分を有する貫通転位が位相差顕微鏡(PCM)で検出可能なことを多光子励起顕微鏡(MPPL)のコントラストとの一対一対応で証明した。また、転位に加え、スクラッチ、ボイド、ファセット境界も検出された。さらに、フォーカス深さを変えて観察することにより転位の３次元分布が取得可能なこともわかった。