講演情報
[17p-W2_401-17]透過電子顕微鏡による微小ピット層上N極性AlNの構造解析
〇(B)波多野 晴信1、大西 一生1、木本 大星2、岡田 成仁2、姚 永昭1 (1.三重大、2.山口大)
キーワード：
N極性AlN、TEM、転位
N極性AlN系デバイスの高性能化において貫通転位の低減は重要である。微小ピット層上にMOVPE成長させたN極性AlNは貫通転位密度が低減することが報告されているが、低減のメカニズムと転位構造については十分に理解されていなかった。本講演では微小ピット層上にMOVPE成長させたN極性AlN中の転位構造を透過電子顕微鏡を用いて解析した結果を報告する。