[17p-W2_401-1~17] 15.4 III-V族窒化物結晶

15:45 〜 16:00

[17p-W2_401-8] グラフェン/SiC(0001)基板の表面形態が窒化物薄膜の結晶性に及ぼす影響

〇濱本 穂高¹、竹本 圭佑¹、図子 祐輔¹、上野 耕平²、藤岡 洋² (1.日産自動車、2.東大生研)

キーワード：

パルススパッタ堆積法、二次元物質、窒化物薄膜