講演情報
[17p-W8E_101-10]分布型分極ドーピングされた組成傾斜 AlGaN 層における一次元 Friedel 振動の観測
〇前田 拓也1、佐々木 一晴1、廣木 正伸2、江端 一晃2、平間 一行2、谷保 芳孝2 (1.東大院工、2.NTT物性科学基礎研究所)
キーワード：
窒化アルミニウム(AlN)、Friedel振動、分極ドーピング
本研究では，組成傾斜させたAlGaNを耐圧維持層に持つAlN系ショットキーバリアダイオード(SBD)を作製し，その空間電荷分布を詳細に調べた．容量-電圧(C-V)測定を行ったところ，概ね線形であるが波打つような特性が得られ，空間電荷密度の深さ方向プロファイルにおいて明瞭な減衰振動構造が観測された．この振動は，イオン化不純物を伴わない分布型分極ドーピング(DPD)による三次元電子ガスにおける膜厚方向の一次元 Friedel 振動であることが分かった．