講演情報
[17p-W9_323-3]デュアル振動子による原子状水素アニール中の有機薄膜のエッチング挙動の評価
〇部家 彰1、藤野 雄飛1、住友 弘二1 (1.兵庫県立大工)
キーワード：
原子状水素、高分子膜、水晶振動子
デュアル水晶振動子を用いた原子状水素密度の簡易測定を検討した。ポリグリセリルエーテルを成膜した振動子と未成膜の振動子を同時測定することで、温度変動の影響を補正し、原子状水素アニール（AHA）処理中の正味の振動数変化を得ることができた。AHA処理初期には急速なエッチングが進行するが、30 min以降は表面改質層形成により反応性が低下することが、振動数変化やX線光電子分光スペクトルから示された。