講演情報
[18a-PA3-12]ミストCVD法によるガラス及びサファイア基板上でのZnOの成長
〇(B)今江 隆人1、岡田 有史1 (1.京工繊大工芸)
キーワード：
ミストCVD、酸化亜鉛、表面モルフォロジー
ZnOは高い透明性と導電性を有し、Alドープによるn型化も可能なため透明導電膜として期待されている。本研究ではミストCVD法を用いてサファイアc面およびガラス基板上にZnO薄膜を成長させ、基板が膜のモルフォロジーや結晶性に与える影響を調べた。AFM観察では両基板上に大きな形態差は見られなかったが、XRDではガラス上で(101)、サファイア上で(002)ピークが強く現れ、サファイア基板がZnOの配向性と結晶性を向上させることが示唆された。