[18a-PA3-1~39] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[18a-PA3-32] 室温でスパッタ成膜したゲート絶縁膜の特性比較およびTFT実装

〇石原 洸¹、中村 光我¹、石井 和歩¹、相川 慎也¹ (1.工大工)

キーワード：

柔軟、室温、薄膜トランジスタ