講演情報
[18a-PA3-7]水蒸気導入スパッタリングによる極性In2O3(100)面優先成長
〇(B)酒井 智弘1、海老澤 雄一朗1、車 振赫2、山口 智広1、相川 慎也1 (1.工学院大、2.全南大)
キーワード：
薄膜トランジスタ、CO2センサー、多結晶
当研究では、In₂O₃ 極性表面を活用した高感度 CO₂ ガスセンサー実現を目的とし、成膜時の水蒸気分圧が極性 (100) 面成長に及ぼす影響を調べた。水蒸気分圧を精密制御して RF スパッタ成膜した In₂O₃ 薄膜を XRD で評価した結果、特定の条件においてのみIn₂O₃ (100) 面の優先成長が確認され、水蒸気由来水素不純物が結晶配向形成に寄与することが示唆された。