[18a-PB4-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[18a-PB4-11] 塩素ラジカルによる窒化チタン熱サイクル原子層エッチング後の残留塩素への水素ラジカル照射効果のin-situ表面反応解析

〇(M2)平井 俊也¹、篠田 和典²、グエン ティ トゥイ ガー¹、堤 隆嘉¹、井上 健一¹、石川 健治¹ (1.名大、2.日立ハイテク)

キーワード：

窒化チタン、残留塩素、X線光電子分光

窒化チタンの塩素ラジカルによる熱サイクルALEについて、エッチング後の表面に残った塩素を除去する方法として水素ラジカル照射を行い、その効果をin-situ XPSにて測定した。
その結果、表面温度140 ℃で水素ラジカルを照射したところ、エッチング後の残留物であるTiN_xClやTiCl₃が減少した。
この結果は、塩素系の窒化チタン熱サイクルALEのプロセス改善に寄与すると考えられる。