講演情報
[18a-PB4-4]水素フリーDLC 成膜用He/CO プラズマ特性に及ぼすガス流量比の影響
〇(M2)滝口 達也1、針谷 達2、上坂 裕之2、小田 昭紀1 (1.千葉工大、2.岐阜大)
キーワード：
ダイヤモンドライクカーボン、プラズマCVD、シミュレーション
COガスを炭素源としたプラズマCVD法を用いることで, 水素フリーなDLC膜を成膜できる. しかし, 膜中にCO ガス由来の酸素を含むため膜硬度が向上しづらい課題がある. そこで, 高硬度な水素フリーDLC 成膜技術の開発を目的として, 容量結合型高周波He/CO プラズマモデルを構築し, He ガス密度がCO プラズマ基礎特性に及ぼす影響を報告してきた. 本報告では, 既存モデルに二次反応過程を追加した上で, CO ガス流量比がプラズマ基礎特性に及ぼす影響を検討した.