2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
過去のプログラム
English
ご利用ガイド
メインメニュー
開催情報
お知らせ(0)
大会HP
タイムテーブル
2026年3月15日 (日)
2026年3月16日 (月)
2026年3月17日 (火)
2026年3月18日 (水)
プログラム
セッション一覧
講演検索
詳細検索
トップ
セッション一覧
セッション詳細
講演情報
講演情報
[18a-PB4-5]
Si基板への水素メタンマイクロ波プラズマ照射によるSiC形成とNEXAFS解析
〇(B)室屋 颯太
1
、北原 広貴
1
、小倉 大知
1
、佐藤 哲也
1
、本山 慎一
2
(1.山梨大工、2.ミヤ通信工業)
キーワード：
プラズマ
セッション詳細へ戻る
