講演情報
[18a-PB4-7]スロットアンテナ液中気泡内プラズマCVD法による炭素系薄膜の形成
〇橋口 魁人1、石島 達夫1、中野 裕介1、田中 康規1 (1.金沢大自然)
キーワード：
液中プラズマ、炭素系薄膜、プラズマCVD
筆者らは，スロットアンテナ方式でのマイクロ波液中気泡内プラズマCVD法を用いて，ダイヤモンド膜を含めた炭素系薄膜の高速かつ大面積成長を検討している．本報告では，使用する有機溶媒の混合比が膜形態に及ぼす影響を検討するため，メタノール（MeOH）・エタノール（EtOH）混合溶液を炭素源として用い，その混合比を変更した場合の膜質をラマン分光法により評価した．