[18a-PB4-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[18a-PB4-8] Ar/He/C₂H₂ PECVDにおけるプラズマパラメータと膜質の関係

〇長嶺 一輝^1,2、佐藤 優志¹、鎌滝 晋礼¹、白谷 正治¹ (1.九州大学　シス情、2.九州大学　マス·フォア·イノベーション連携学府)

キーワード：

PECVD、アモルファスカーボン、プラズマパラメータ