講演情報
[18a-PB4-9]マイクロ波大気圧プラズマジェットにおける誘電体ノズル径が電界分布およびプラズマ生成特性に及ぼす影響
〇長森 裕貴1、Erdenezaya Bat-Orgil1、石島 達夫1、中野 裕介1、田中 康規1 (1.金沢大理工)
キーワード：
Y₂O₃ 成膜、プラズマジェット、大気圧プラズマ
これまで大気圧マイクロ波プラズマジェット(Microwave Atmo- spheric Pressure Plasma Jet: MW-APPJ)を用いて，膜厚約1 µm，直径1.5 mmのY2O3成膜に成功している．成膜領域の大面積化を達成するためには，プラズマを基板上に拡大する必要がある．本稿では電磁界シミュレーションにより誘電体ノズル径の違いがノズル先端部電界分布に及ぼす影響を解析し，プラズマ生成実験におけるプラズマ着火特性との関係から，適切なノズル径についての検討を行った．