講演情報
[18a-S2_204-3]超臨界流体薄膜堆積法の高速な最適製膜条件特定のための手法論の構築(1)
〇(B)佐内 晴太郎1、小田 翔太2、橋新 剛3、赤井 一郎4、百瀬 健5 (1.熊大工、2.熊大院自、3.熊大院先端、4.熊大産ナノ研、5.熊大半導体)
キーワード：
プロセスインフォマティクス、物理情報を組み込んだベイズ最適化、超臨界流体薄膜堆積法
近年の技術開発の潮流となるインフォマティクス技術を, 因果構造を分離して局所に適用し,さらに物理情報を活用する戦略を提示する.少数データの活用を余儀なくされる製膜プロセスに対し，外挿性と解釈性を確保し，寸法依存を切り離した汎用的プロセスモデルを形成する.