[18a-S2_204-1~6] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

12:15 〜 12:30奨励賞エントリー

[18a-S2_204-4] 超臨界流体薄膜堆積法の高速な最適製膜条件特定のための手法論の構築(2)

〇小田 翔太¹、佐内 晴太郎²、橋新 剛³、赤井 一郎⁴、百瀬 健⁵ (1.熊大院自、2.熊大工、3.熊大院先端、4.熊大産ナノ研、5.熊大半導体)

キーワード：

プロセスインフォマティクス、物理情報を組み込んだベイズ最適化、超臨界流体薄膜堆積法

超臨界流体薄膜堆積法を用いた高速かつ均一な製膜を目指し, 従来の試行錯誤的な開発から脱却した,データ駆動手法と実験科学を融合したモデル化手法により,少数実験から最適条件を推定可能なプロセスモデルを構築する.