講演情報
[18a-S4_201-1]GaN中へのレーザ加工痕形成がレーザスライスに与える影響
〇田中 敦之1、油井 俊樹2、徳田 祥典3、小山 貴之3、本田 善央1、大原 淳士3、長里 喜隆3、恩田 正一1、須田 淳1、天野 浩1 (1.名大IMaSS、2.浜松ホトニクス、3.ミライズテクノロジーズ)
キーワード：
レーザスライス、GaN
GaN中へのレーザ加工において、加工点の大きさやピッチに応じて、加工点間に発生する応力に違いがあることを観察した。また、それらの違いがレーザスライスを発現させる際に影響を与えていることを発見した。