[18a-S4_201-1~6] 3.6 レーザープロセシング

10:45 〜 11:00

[18a-S4_201-2] サブナノ秒全固体193 nm光源を用いたアブレーション加工効率評価

〇本杉 宇晃¹、小池 陸生¹、玉手 光次¹、近田 修¹、三浦 泰祐¹ (1.ギガフォトン株式会社)

キーワード：

サブナノ秒全固体193 nm光源

我々は深紫外レーザによる材料加工技術開発の一環として、波長193 nmの全固体レーザ（M2:1.7~1.8）を用いたアブレーション閾値評価を行っており、シリコン（100）および合成石英のアブレーション閾値と加工体積レートの評価を行った。これらの評価結果を報告する。