[18a-W2_401-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

9:00 〜 9:15

[18a-W2_401-1] GaN(0001)オフ基板上に有機金属気相エピタキシャル成長したAlGaN層の組成およびステップ高さから推定したGa吸着原子の表面拡散長

〇望月 和浩¹、三島 友義¹、堀切 文正¹、太田 博¹、西村 智朗¹ (1.法政大)

キーワード：

窒化ガリウム、表面拡散、吸着原子