2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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9:15 〜 9:30
[18a-W2_401-2]
GaN(0001)上表面拡散長およびGaAs(001)上GaN MBE成長で報告された再蒸発エネルギーから求めたGa表面吸着原子のGaN(0001)上表面拡散における活性化エネルギー
〇望月 和浩
1
、三島 友義
1
、堀切 文正
1
、太田 博
1
、西村 智朗
1
(1.法政大)
キーワード:
窒化ガリウム、表面拡散、吸着原子
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