2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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10:15 〜 10:30
[18a-W2_401-6]
スパッタ法を用いたAlN上へのAl添加
β
-Nb
2
Nの作製と評価
〇加藤 雄貴
1
、原田 尚之
2
、三宅 秀人
3
、池田 和久
1
、小林 篤
1
(1.理科大院先進工、2.NIMS、3.三重大院工)
キーワード：
超伝導体
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