2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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10:45 〜 11:00
[18a-W2_401-7]
スパッタ法によるGaN上へのNbN
x
単結晶薄膜の成長
〇児玉 竹琉
1
、加藤 雄貴
2
、池田 和久
1,2
、小林 篤
1,2
(1.理科大先進工、2.理科大院先進工)
キーワード:
超伝導体、NbN
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