[18a-W8E_101-1~12] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

9:45 〜 10:00

[18a-W8E_101-4] 陽電子線励起によるGaN 基板のルミネッセンス評価

〇堀切 文正¹、中村 俊博¹、栗山 一男¹、三島 友義¹、西村 智朗¹、木野村 淳² (1.法政大、2.京大)

キーワード：

窒化ガリウム、陽電子線照射、ルミネッセンス

本発表では、規制線量以下(< 1 MBq)の取り扱いが簡易な低放射能陽電子線源のNa-22からの放射線を照射する事で、GaN試料のバルク内部からの発光を観察する事に成功したので、その結果について報告する。