講演情報
[18p-M_103-1]マイクロ波磁場励起によるプラズマ発生
〇吉田 英恵1、藤井 知1 (1.沖縄高専情報)
キーワード：
マイクロ波プラズマ、マイクロ波、TM110モード空洞共振器
マイクロ波励起プラズマは、高効率にエネルギーを供給できることから、各種プロセスへ応用されている。近年、Mg 金属蒸気をマイクロ波磁場モードにより直接励起する手法が報告され、酸化物還元などへの利用が進んでいる。本研究では、より低温で高い蒸気圧を示す Zn に着目し、磁場モード空洞共振器を用いて約 300℃ において Zn プラズマが生成されることを確認した。また、投入電力の増加に伴い発光強度が増大することを明らかにした。以上より、マイクロ波磁場励起による金属蒸気プラズマ生成の新たな手法を提案するものである。