[18p-M_103-1~7] 8.1 プラズマ生成・診断

14:45 〜 15:00

[18p-M_103-4] 二周波重畳容量結合型プラズマにおける高周波電極入射イオンのエネルギー分布計測

〇(M1)藤谷 航大¹、金 度漢¹、内藤 真誉¹、鈴木 陽香¹、久保井 宗一²、福水 裕之²、栗原 一彰²、豊田 浩孝¹ (1.名大工、2.キオクシア（株）)

キーワード：

二周波重畳容量結合型プラズマ、イオンエネルギー分布、ファラデーカップ