講演情報
[18p-M_103-5]高出力パルスマグネトロンスパッタリングの成膜領域における飛行時間質量分析法を用いたエネルギー分解時間発展計測
〇小林 宏輝1、上村 波音1、宮田 雅人1、中川 悠幹1、横山 英佐1,2、實方 真臣1、戸名 正英3、山本 宏晃3、塚本 恵三3、冨宅 喜代一4、大下 慶次郎5、美齊津 文典6 (1.東京工芸大工、2.サレジオ高専、3.(株)アヤボ、4.神戸大、5.北海道教育大、6.東北大院理)
キーワード：
飛行時間質量分析法、高出力パルスマグネトロンスパッタリング、エネルギー分析
HiPIMSは高電力パルスにより高密度プラズマを生成する手法として注目されており、近年では、成膜速度や膜質向上を目的としてマルチパルス化の研究が行われている。その中で、数本のパルスからなるm-HiPIMS、数十本の連続パルス印加によりアークフリー特性に優れた手法としてDOMSが検討されている。本研究では、m-HiPIMSおよびDOMSで生成されるイオンに対し、TOF-MSによる時間発展計測を行った。