講演情報
[18p-S2_203-3]酸化物半導体TFTを用いたBSPDN向け高効率DC-DCコンバータに関する研究
〇永井 歩武1、小林 正治1 (1.東大生研)
キーワード：
酸化物半導体、集積DC-DCコンバータ、backside power delivery network (BSPDN)
本研究では、IGO TFTを用いたスイッチトキャパシタ (SC)型 直流-直流 (DC-DC)コンバータをBSPDN内に集積し、大電流を要する近年のプロセッサに高効率・低損失に電力を供給することをねらい、トランジスタのモデル化、回路トポロジの検討、回路設計・試作・評価、BSPDNでのIRドロップ解析を行った。IGO TFTのコンパクトモデルを抽出し、SPICEシミュレーションにより2:1降圧 SC DC-DCコンバータの回路設計を行い、さらに試作と測定を行った。次に、SC DC-DCコンバータをBSPDN内に分散配置することで、トランジスタ層の面積を消費することなく、アクティブな電圧変換と電流供給をチップの裏面で行うことを検討し、IRドロップ削減の可能性をシミュレーションによって定量的に示した。