講演情報

15:15 〜 15:30

[18p-S2_203-5]導電性酸化膜電極を用いたn型Geコンタクトに関する研究

〇工藤晃哉^1,2、陳家驄²、張文馨²、前田辰郎² (1.千葉大学、2.産総研)

透明導電性酸化物、酸化インジウム、固有コンタクト抵抗率

本発表では、導電性酸化膜電極を用いた低抵抗n型Geコンタクトを目指して、ICO:H膜を10nmまで薄膜化して、CTLM法を用いてコンタクト性能を評価した結果を報告する。