講演情報
[18p-W8E_101-1]高電圧・超微小電流領域における測定不安定現象の原理・メカニズム解明― ウエハレベル1 kV級量産測定への応用 ―
〇安藤 剛樹1,2 (1.フォームファクター、2.オー・エヌ・シー)
キーワード：
半導体、パラメトリックテスト、パワーデバイス
パワーデバイスにおける高電圧・高電流領域の安定測定は、長年にわたり重要な課題である。本講演では、高電圧領域における測定不安定現象について電気的観点から解析・評価し、その原理・メカニズムに基づいて安定測定手法を構築した結果を報告する。本手法は、高電圧条件下において相反する超微小電流領域の安定化を可能とし、量産測定への応用にも有効である。