講演情報
[18p-W8E_101-4]マイクロ波無線電力伝送用レクテナ回路応用に向けた高周波Ga2O3ショットキーバリアダイオード開発
〇(M1)田端 悠大1、末廣 雄大1、Ferreyra A. Romualdo1、堤 卓也1、金野 舜2、臼井 洸佑2、松尾 大輔2、伊庭 義騎3、寺内 悠真3、吉永 純也3,4、熊谷 義直3、大野 泰夫5、東脇 正高1,6 (1.大阪公立大院工、2.日新イオン機器、3.東京農工大院工、4.大陽日酸、5.レーザーシステム、6.情通機構)
キーワード：
酸化ガリウム、ショットキーバリアダイオード、無線電力伝送
我々は、マイクロ波無線電力伝送システムのRF/DC変換効率向上を目的として、高い絶縁破壊電界を有するGa2O3を用いた高周波ショットキーバリアダイオード (SBD) を開発している。今回、微細アノード電極を有する横型Ga2O3 SBDを作製し、その電気的特性を評価した。結果、アノード電極径8 μmのSBDにおいて、理想因子1.11に代表される概ね良好なDCデバイス特性を確認した。