[18p-WL1_201-1~7] 技術イノベーションを加速する薄膜新材料とデバイス・プロセスの新展開

14:45 〜 15:15

[18p-WL1_201-4] 資源効率を最大化する薄膜グリーンプロセッシング：Ceramics Print-On-Demandによる常圧・低温・高速製膜と循環設計

〇中島 智彦¹ (1.産総研)

キーワード：

薄膜プロセス、レーザープロセス、循環製造

薄膜新材料・デバイス開発では、材料性能に加え、エネルギー・廃棄物・資源効率を同時に最適化するサーキュラーエコノミーを志向したグリーンプロセッシングが重要である。本講演では、印刷手法と光照射を融合させたPCSD法を基盤とした低温・高速なセラミック薄膜形成を例に、Narrowing、Slowing、Closed loopの観点から資源効率最大化を通じた産業応用へ向けた取り組みを紹介する。