セッション詳細
[18p-WL1_201-1~7]技術イノベーションを加速する薄膜新材料とデバイス・プロセスの新展開
2026年3月18日(水) 13:00 〜 16:45
WL1_201 (西講義棟1)
座長:村岡 祐治(岡山大)、 藤原 宏平(立教大)
[18p-WL1_201-1]微細配線応用をめざしたCoSnカゴメ金属単結晶薄膜
〇中谷 友也1、Suwannaharn Nattamon1、Dahule Rohit1、佐々木 泰祐1、佐原 亮二1 (1.NIMS)
[18p-WL1_201-4]資源効率を最大化する薄膜グリーンプロセッシング:Ceramics Print-On-Demandによる常圧・低温・高速製膜と循環設計
〇中島 智彦1 (1.産総研)
[18p-WL1_201-7]ナノ金属酸化物半導体をチャネルとした集積化分子センサ技術
〇高橋 綱己1、本田 陽翔1、Liu Jiangyang1、田中 航1、細見 拓郎1、柳田 剛1 (1.東大院工)
