[18p-WL1_201-1~7] 技術イノベーションを加速する薄膜新材料とデバイス・プロセスの新展開

15:45 〜 16:15

[18p-WL1_201-6] 薄膜カリウムイオンエレクトレットを用いたMEMS振動エナジーハーベスタ

〇本間 浩章¹ (1.神戸大工)

キーワード：

MEMS振動エナジーハーベスタ、エレクトレット、IoT