[18p-WL1_201-1~7] 技術イノベーションを加速する薄膜新材料とデバイス・プロセスの新展開

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[18p-WL1_201-7] ナノ金属酸化物半導体をチャネルとした集積化分子センサ技術

〇高橋 綱己¹、本田 陽翔¹、Liu Jiangyang¹、田中 航¹、細見 拓郎¹、柳田 剛¹ (1.東大院工)

キーワード：

金属酸化物、ガスセンサ、集積化センサアレイ