物性

9:15 〜 9:30

[2-47A] スパッタ法により作製したY-Ca-Cr-Mn系酸化物薄膜のサーミスタ特性 《物性》

*志知 拓郎¹、神島 謙二¹、柿崎 浩一¹ (1. 埼玉大学大学院)

キーワード：

薄膜、サーミスタ、温度センサ、スパッタ法