[T3] 金属ガラス・ナノ結晶材料・高エントロピー合金の基礎と応用に関する新展開

15:35 〜 15:50

[1-48A] 様々なカルコゲナイド材料群に適した物理気相蒸着法による薄膜創製 《合成, 物性》

*金 美賢¹、佐々木 叶達¹、猪瀬 大貴¹、鈴木 駿斗¹、河野 陽生¹、齊藤 雄太¹ (1. 東北大学)

キーワード：

カルコゲナイド薄膜、物理気相蒸着、抵抗加熱蒸着、スパッタリング法