表面改質Ⅱ

13:50 〜 14:10

[308] CH4濃度変調プラズマを用いて異なる変調比で合成したナノ結晶ダイヤモンド膜の機械的特性

*田中 一平¹、ナズルル アスワド²、大西 亮多³、川口 夏樹⁴、原田 泰典⁵ (1. 兵庫県大、2. 兵庫県大・学、3. 兵庫県大・院、4. 兵庫県大、5. 兵庫県大)